정밀기기는 진동에 항상 취약합니다. 미세한 진동들이 이러한 정밀 기기에 대해 영향을 미치고 있기때문에, 객관적인 방법으로 진동영역과 그 크기 등에 대해 분류하려고 연구하여 왔습니다.
대표적인 진동에 대한 분류법은, 흔히 BBN-Criterion이라고 하는, 미국 BBN(Bolt Beranek & Newman Inc.)에서 제안한 미세진동분류를 사용하고 있으며, 흔히 “진동허용규제치(振動許容規制値)” 또는 “Vibration Criterion”, “VC 곡선” 라고 불려지며, 우리나라에서도 많이 사용되고 있습니다.

BBN-criterion
이러한 분류법은 산업현장에서 미세진동의 크기를 분석하여, 대책을 수립하는데 많이 사용되고 있습니다. 특히 제진시스템의 적용여부를 판단하는데도 유용합니다.
BBN-criterion표를 보시면, 주파수 대역 4~8Hz은 가속도값을, 8~80Hz은 속도값을 Class별로 기재하여 정의를 내리고 있는데, 이것은 정밀기기에 물리적인 영향을 많이 주는 주파수 대역이 0Hz ~ 80Hz 범위에서 관찰되기 때문입니다. 따라서, 80Hz이하범위의 저주파수대역 진동영역의 제어가, 초정밀 제진환경에 중요하다는 의미입니다.
이러한 저주파수 대역의 정밀 제진환경은 공기방식 제진시스템 또는 코일스프링방식 제진시스템이 효과적입니다. 고무(패드)류는 80Hz이하의 주파수는 거의 제진을 하지 못하기 때문에, 정밀기기에는 직접적인 적용을 하지 않고 보조적인 장치로 사용됩니다.
일반적으로 광학장비 운용이나 micro급이상의 작업을 할때에는 Class A급이상의 진동환경이 필요하며, 이러한 진동환경은 주변환경의 진동발생원을 차단하는 방법으로 의도적인 정적인 상태를 유지해야하는데, 이것은 비용이 많이 들수 있기 때문에, 제진시스템을 사용하여 경제적인 방법으로 원하는 진동환경을 얻을 수 있습니다. 물론 낮은 배율의 광학기기나 정밀하지 않는 작업에는 제진시스템이 그다지 필요하지 않습니다.
- 관련링크 -> BBN Criterion or VC곡선
* 참고자료- Generic Criteria for Vibration-Sensitive Equipment Gordon-SPIE91